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      原子层沉积系统臭氧发生器要求

      来源:www.ecovalve.cn 作者:同林臭氧 时间:2025-01-07 17:11

      原子层沉积系统臭氧发生器要求

      原子层沉积系统用臭氧发生器要求如下:

      20250107-171059.jpg

      臭氧发生器产量10 g/h,浓度不低于80 g/m,臭氧流量可控(0~200 sccm)

      以下臭氧发生器可满足要求:

      1、3S-T10  ,臭氧产量10g/h,臭氧浓度120mg/L,氧气进气范围0.05-4L/min

      2、NANO15,臭氧产量15g/h,臭氧浓度150mg/L,氧气进气范围0.05-2L/min

      3、3S-M5,臭氧产量10g/h,臭氧浓度110mg/L,氧气进气范围0.05-2L/min

      4、EXT-M10,臭氧产量5-10g/h,臭氧浓度120mg/L,氧气进气范围0.05-2L/min

      5、Atlas H30  ,臭氧产量3g/h,臭氧浓度200mg/L,氧气进气范围0.05-2L/min

      可根据臭氧浓度需求,体积大小,价位来选择合适的臭氧发生器。


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