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      分子束外延薄膜用超高纯臭氧系统介绍

      来源:www.ecovalve.cn 作者:同林臭氧 时间:2024-05-15 17:15

      分子束外延薄膜用超高纯臭氧系统介绍

      主要配件

      配备3套低温蒸发源(100~1100℃),控温精度±0.1℃,坩埚容量10cc 配套2套中温蒸发源(300~1500℃),控温精度±0.1℃,坩埚容量10cc 配备15KeV高能电子衍射系统和图像采集CCD 配备射频等离子源(433MHz) 配备电子束蒸发源 配备液化型超高纯臭氧系统

      主要参数

      适用1英寸及以下衬底; 衬底加热可达950℃;

      仪器介绍

      仪器名称(中文/英文)分子束外延薄膜制备系统(MBE)
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      规格型号定制
      仪器功能介绍
      可外延生长Pt,  ?。粒?,?。校涞冉鹗舻ゾП∧?,Ga2O3,?。桑裕?,?。裕椋希驳妊趸锇氲继灞∧ひ约埃牵幔?,  ?。桑睿蔚劝氲继灞∧?,用于二维材料、量子器件、超导、半导体、纳米器件、光学及其他材料薄膜沉积研发
      性能指标
      1、适用1英寸及以下衬底;
      2、衬底加热可达950℃;
      3、配备3套低温蒸发源(100~1100℃),控温精度±0.1℃,坩埚容量10cc
      4、配套2套中温蒸发源(300~1500℃),控温精度±0.1℃,坩埚容量10cc
      5、腔体本底真空优于5x10-10mbar(完全烘烤后)
      样品要求
      样片直径应为1英寸以下的晶圆或不规则碎片;
      仪器说明
      1、配备15KeV高能电子衍射系统和图像采集CCD,能够检测薄膜生长,实现原子层级精准控制,电子束光斑大?。迹罚唉蹋?,很大电子束束流340μA;
      2、配备射频等离子源(433MHz),可实现氧、氮等离子体的产生;
      3、配备电子束蒸发源:Max高压是2kV,加热丝灯丝电流Max4.5A,束流稳定性<0.01A/s=0.2层/min;
      4、配备液化型超高纯臭氧系统,液化池出口臭氧浓度>99.5%,很大臭氧浓度15%


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      液化型超高纯臭氧系统



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