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      三菱高浓度臭氧气体发生系统介绍

      来源:www.ecovalve.cn 作者:同林臭氧 时间:2024-03-27 16:11

      三菱高浓度臭氧气体发生系统介绍

      特征:

      • 采用氮气不添加法产生超高浓度臭氧气体,达到400g/m的超高、行业领先浓度3(北)
      • 通过采用不添加氮气的方法来清洁臭氧气体(其中氮氧化物的产生限制在其极限*)并保持所需的质量,从而限制金属污染物的产生,从而使图案小型化和提高薄膜质量。
        *氮氧化物浓度0.01ppm以下(与之前型号相比为1/10000)
      • 独特的超短间隙放电技术的继承,具有出色的启动特性、稳定性和冷却效率。
      • 符合国际标准,符合CE标志和SEMI-S2
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      H系列

      在不使用氮添加剂的情况下产生行业领先的超高浓度臭氧气体,主要用于半导体和制造工艺。

      P系列

      仅使用高纯度氧气产生清洁臭氧气,主要用于半导体和制造工艺,不含氮添加剂。

      C系列

      产生适用于半导体制造工艺的清洁臭氧气体

      N系列

      使用普通氧气产生高浓度臭氧气体。主要应用包括半导体制造工艺、化学工艺、食品制造工艺和水处理。

      臭氧水生产系统

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      U系列

      制造适用于半导体制造工艺的清洁臭氧水。主要应用包括半导体制造工艺和精密机器零件清洗。

       

      母线粘接机

      特征

      • 将导线直接粘接到薄板玻璃上。
      • 无需加热、焊接材料或耗材即可形成母线排。
      • 接触电阻低,电性能好。
      • 原始技术可以减少对玻璃的损坏。

      基本规格

      • 引线的自动张力控制。
      • 监控系统(制造条件、粘接痕迹)。
      • 可更换的吸头(工具)
      • 砧座和固定结构(减少对玻璃的损坏)。

      粘接成就

      • 玻璃厚度[mm]:0.65~4
      • 玻璃的表面材料
        • 玻璃原料
        • 沉积薄膜(ITO、ZnO、Ag、Cr、Al、Ti、Ni等)
      • 平板玻璃尺寸 [mm]
        • □100、□300、500 x 1000、600 x 1200 等

      相关产品

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      同林高浓度臭氧发生器(臭氧浓度可达300mg/L)


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